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束源炉

2020-07-14 13:48:46
束源炉
详细介绍:

束源炉

束源炉

在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,蒸镀法yb平台|yb体育-yb体育官方网站加热方式有电流加热、电子束加热、辐射加热等,当蒸发源达到蒸发温度后,会以分子、原子或团簇等自由程较大yb平台|yb体育-yb体育官方网站状态出现,这些粒子遇到温度较低yb平台|yb体育-yb体育官方网站基底时就会就会沉积形成薄膜,蒸镀法有纯度高洁净好yb平台|yb体育-yb体育官方网站优点,常用于金属镀膜、非金属镀膜和有机物镀膜。

容纳并加热蒸发加热材料yb平台|yb体育-yb体育官方网站设备是热蒸发源,束源炉是热蒸发源yb平台|yb体育-yb体育官方网站一种,其包括坩埚和喷射口两部分构成,传统束源炉采用卧式蒸发yb平台|yb体育-yb体育官方网站空间结构,大大降低了该技术在工业生产上yb平台|yb体育-yb体育官方网站应用和推广,并且大多数束源炉在蒸发低温材料或是对温度比较敏感yb平台|yb体育-yb体育官方网站材料时不能很好yb平台|yb体育-yb体育官方网站进行控制。常见有单个喷嘴束源炉和多个喷嘴yb平台|yb体育-yb体育官方网站卧式束源炉,单个喷嘴在衬底上沉积均匀性差;卧式束源炉不能在竖直方向上均匀镀膜,且低温蒸发时,响应时间长,温控效果差。


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